電子氣：
按組分的性質(zhì)分類，大致分為三類，即單質(zhì)類氣體（O₂、N₂、Ar、H₂、He）、化合物類氣體（SiH₄硅烷、PH₃磷烷、AsH₃砷化氫、CO一氧化碳、B₂H₆乙硼烷、Hcl氯化氫、NH₃氨、CF₄四氟甲烷、SiF₄四氟硅烷等）、混合物類氣體（SiH₄+稀釋氣（Ar、N₂）、PH₃+稀釋氣（Ar、N₂）、NH₃+稀釋氣（Ar、N₂）等）。